# 148_气体捕集式真空泵_徐成海1996

## 文献信息

- **序号**：148
- **标题**：真空技术及应用系列讲座第五讲：气体捕集式真空泵
- **作者**：徐成海
- **来源**：东北大学
- **年份**：1996年10月
- **路径**：源文件/文献/真空系列讲座/第5讲：气体捕集式真空泵/真空技术及应用系列讲座第五讲：气体捕集式真空泵_徐成海.pdf

## 核心内容

### 一、气体捕集式真空泵分类

气体捕集式真空泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵内表面上的真空泵，分为以下几种：

1. **吸附泵**：依靠多孔物质（分子筛等）的物理吸附作用抽气
2. **吸气剂泵**：利用金属/合金的化学方式捕获气体（钛升华泵、锆铝吸气泵）
3. **吸气剂离子泵**：电离气体通过电磁场吸附在吸气材料表面
   - 蒸发离子泵（轨旋式钛泵）
   - 溅射离子泵
4. **低温泵**：利用低温表面捕集气体

### 二、分子筛吸附泵

#### 分子筛结构与原理
- 分子筛是人工合成的沸石，粒度1~10μm
- 内表面积大（5A型：585m²/g；13X型：520m²/g）
- 结构像"化学建筑物"，有晶孔和空腔
- 物理吸附过程可逆：低温吸气、高温放气
- 在液态氮温度下，吸附气体体积为自身体积的50~110倍

#### 结构类型
- **内冷式**：泵外壳不锈钢，分子筛放无氧铜翼片上，四周镍网围住，注入液氮冷却
- **外冷式**

#### 特点
- 目前获得无油超高真空的理想予抽泵
- 使用7~8次后需加热再生

## 关键术语

- 气体捕集式真空泵
- 吸附泵、吸气剂泵、离子泵、低温泵
- 分子筛吸附泵
- 物理吸附/化学吸附

## 与其他文献的关联

- 与第4讲蒸汽流真空泵同属真空获得设备系列
- 低温泵与第9讲冷阱原理相关（都是低温捕集）
- 无油真空获得与PVD工艺清洁度要求相关

## 疑问/待验证

- 低温泵的具体工作温度范围？
- 溅射离子泵在卷绕镀膜真空系统中的实际应用？