# 【148】真空测量技术讲座（第6讲）

## 基本信息
- **作者**：刘玉岱（东北大学）
- **来源**：《真空》期刊系列讲座，1996-1997年
- **路径**：源文件/文献/真空系列讲座/第6讲_真空测量/
- **阅读日期**：2026-04-12
- **理解程度**：⭐⭐⭐⭐（综合讲座）
- **关联度**：⭐⭐⭐⭐（真空系统基础）

## 核心内容

### 真空计分类

#### 全压力测量
| 类型 | 测量范围 | 特点 |
|------|----------|------|
| **U型管真空计** | 5×10⁵~10Pa | 绝对真空计 |
| **弹性元件真空计** | 10⁵~10Pa | 工业用 |
| **压缩式真空计** | <1Pa | 绝对真空计，精度最高 |
| **热传导真空计** | 10⁵~10⁻¹Pa | 相对真空计 |
| **电离真空计** | 10⁻¹~10⁻⁸Pa | 高真空测量 |

### 热传导真空计

| 类型 | 原理 | 特点 |
|------|------|------|
| **热阻式** | 热线电阻变化 | 测量10³-10⁻¹Pa |
| **热电偶式** | 热电偶温度变化 | 测量10³-10⁻²Pa |
| **Pirani真空计** | 金属丝温度变化 | 测量10³-10⁻³Pa |

### 电离真空计

| 类型 | 原理 | 测量范围 |
|------|------|----------|
| **热阴极电离计** | 热阴极发射电子电离 | 10⁻¹~10⁻⁸Pa |
| **冷阴极电离计** | 冷阴极放电电离 | 10~10⁻⁴Pa |
| **B-A计** | B-A型热阴极 | 10~10⁻¹⁰Pa |

### 四极滤质器（质谱计）⭐⭐⭐

| 参数 | 值 |
|------|-----|
| 质量范围 | 1-500 u |
| 分辨本领 | 100-500 |
| 灵敏度 | 10⁻⁵~10⁻⁶ A/Pa |
| 最小可检分压 | 10⁻⁹~10⁻¹¹ Pa |
| 分压比灵敏度 | 2×10⁻⁶ |

### 残余气体分析

| 气体 | 特征峰(m/e) |
|------|-------------|
| H₂ | 2 |
| H₂O | 18 |
| N₂/CO | 28 |
| O₂ | 32 |
| CO₂ | 44 |
| Ar | 40 |

### 本底真空主要残余气体

| 气体 | 来源 | 影响 |
|------|------|------|
| **H₂O** | 环境/材料释放 | 主要污染 ❌ |
| N₂/CO | 空气泄漏/分解 | 次要 |
| H₂ | 材料释放 | 高温时突出 |
| CO₂ | 材料/油脂 | 抽气后减少 |
| 油气 | 泵油/油脂 | 需冷阱 |

### 与XC03项目关联

| 关联点 | 说明 |
|--------|------|
| **热传导真空计** | 卷绕腔室压力监测 |
| **电离真空计** | 本底真空监测 |
| **四极滤质器** | 残余气体分析 |
| **H₂O主要污染** | 质谱验证 ✅ |

## 个人理解/提炼

**核心结论**：
1. **本底真空H₂O最多**：需充分抽真空
2. **电离真空计**：10⁻¹~10⁻⁸Pa高真空
3. **四极滤质器**：分压分析气体成分
4. **压缩式真空计**：<1Pa绝对真空计

---

## 📅 更新记录

| 日期 | 操作 | 说明 |
|------|------|------|
| 2026-04-12 | 新增 | 芝士虾 |