# 【156】基于卷对卷矩形靶的溅射膜厚均匀性控制

## 基本信息
- **作者**：黄云翔（华南理工大学）
- **来源**：《华南理工大学学报》2015年第43卷
- **路径**：源文件/文献/卷绕相关/基于卷对卷矩形靶的溅射膜厚均匀性控制_黄云翔.pdf
- **阅读日期**：2026-04-12
- **理解程度**：⭐⭐⭐⭐⭐（详细研究）
- **关联度**：⭐⭐⭐⭐⭐⭐ **极高！XC03均匀性核心！**

## 核心内容

### 均匀性控制关键 ⭐⭐⭐⭐⭐

| 参数 | 影响 |
|------|------|
| **靶长增加** | 均匀性↑ ✅ |
| **靶基距调整** | 边缘效应补偿 |
| **溅射功率分布** | 均匀性优化 |

### 最优靶长

| 靶长 | 均匀性 |
|------|--------|
| 短靶 | 差 ❌ |
| **125mm** | **最优** ✅ |
| 更长靶 | 改善有限 |

### 溅射功率分布

| 分布方式 | 效果 |
|----------|------|
| 均匀分布 | 中等 |
| **边缘加强** | **均匀性最优** ✅ |
| 中间加强 | 差 |

### 膜厚均匀性公式

```
均匀性指标：
     ↓
δ = (d_max - d_min) / (d_max + d_min) × 100%
     ↓
δ < 5% 为合格
```

### 与XC03项目关联

| 关联点 | 说明 |
|--------|------|
| **靶长优化** | 125mm参考 ✅ |
| **功率分布** | 边缘加强 ✅ |
| **均匀性指标** | δ < 5% |

## 个人理解/提炼

**核心结论**：
1. **靶长增加→均匀性↑**
2. **125mm最优靶长**
3. **边缘加强功率分布最优**

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## 📅 更新记录

| 日期 | 操作 | 说明 |
|------|------|------|
| 2026-04-12 | 新增 | 芝士虾 |