# 超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜关键技术研究 (3)

基础信息
- 来源：文献资料-高���信 / 源文件/文献
- 作者：广东汇成真空科技股份有限公司，广东
- 年份：2025
- 学习日期：2026-04-14
- 提取方式：pymupdf
- 源文件：/root/knowledge/理论资料参考/文献资料-高置信/源文件/文献/卷绕相关/超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜关键技术研究 (3).pdf

核心内容（初读提要）
> 超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜关键技术研究
> 罗军文
> （广东汇成真空科技股份有限公司，广东
> 东莞
> 511700）
> 摘
> 要：详细介绍了超薄柔性基材真空双面磁控溅射卷绕镀铜设备的工作原理、结构组成和关键技术
> 设计要点，分析了影响镀膜质量与生产效益的主要因素，重点论述了超薄基材镀膜技术难点和解决方
> 案。通过优化卷绕系统辊系布局和磁控溅射系统结构，以及在镀膜辊面增加绝缘陶瓷层，有效解决了
> 薄膜热损伤问题。该优化方法有利于提升新能源锂电池复合铜箔材料的品质和生产效率，加速新能源
> 锂电池复合集流体负极材料的批量化生产。
> 关键词：超薄基材；磁控溅射；双面镀膜；陶瓷层；热损伤

参数-性能线索（原文摘录）
- 量轻、温度适应性强、安全可靠和绿色环保等性
- 空环境中不易散失，超薄基材对温度特别敏感，
- 以降低基材温度。
- 进而有效降低基材温度[22-23]。
- 膜层温度明显较高，这会导致超薄基材出现高温
- 沉积的前提下使基材保持较低温度，是目前亟待
- 镀膜辊是设备关键部件之一，用于控制镀膜速度
- 中温度始终保持在一个稳定值，从而保证薄膜质

与既有结论的印证（初步）
- Cu/PET 卷绕溅射常见规律：功率↑→电阻率/方阻↓；压强存在最优点；速度↑→厚度↓/方阻↑。待该文献定量数据验证后更新置信度。

疑问/待验证
- 是否提供明确的功率-压强-速度-厚度/方阻的定量曲线？
- 是否包含双面卷绕的隔离/差分抽气与导辊分区设定？
- 粘附/剥离强度的测试方法与数据口径？

引用与路径
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