# 【07】复合集流体拐点已至：汉嵙新材以一步法量产引领行业变革

## 基本信息
- **来源**：网页 - 腾讯新闻
- **发布日期**：2025年
- **阅读日期**：2026-04-09
- **置信度**：⭐⭐⭐⭐（汉嵙官方背书，数据详细）

## 核心内容
汉嵙新材凭借全球首创的磁控溅射一步法工艺及规模化量产能力，在全球首创32/40圆柱靶双面卷绕式磁控溅射设备支撑下，以90%高良率实现稳定批量供货，成为驱动复合集流体行业变革的中坚力量。

## 关键数据/结论
1. **良率**：稳定维持 90% 以上
2. **设备**：全球首台32圆柱靶双面卷绕磁控溅射设备
3. **功率**：匹配 40KW 大功率电源
4. **效率**：沉积效率提高 5 倍以上
5. **靶材利用率**：柱靶旋转设计 >75%，定向磁控溅射技术 >80%
6. **成本**：综合成本降至 4~5 元/㎡
7. **膜层质量**：致密性好、零色差、无孔洞、无凸点
8. **专利**：累计申请 83 项（发明57项、实用新型15项、PCT 11项）

## 与文献库的印证
- 与文献库 HiPIMS 高功率磁控溅射方向一致
- 一步法工艺规避了两步法中湿法环保问题与水电镀良率低的痛点

## 个人理解
- **一步法优势**：可兼容两步法，反之则难，形成极高技术壁垒
- **设备亮点**：柱靶设计大幅提升靶材利用率（75-80%）和沉积效率（5倍）
- **成本控制**：4~5元/㎡的综合成本极具竞争力
- **与XC03项目关联**：绍兴汉嵙是汉嵙体系的重要基地

## 疑问
- 一步法的具体工艺参数未披露
- 基材厚度与镀层厚度的具体规格